確実なウェハ検査の実現
ソーラーパネル用半導体のウェハ製造における品質保証
太陽電池のは、前面と背面の電極、シリコン層、反射防止膜など複数の層で構成されています。ひび割れや傷、異物混入、その他の欠陥は、太陽電池の機能と効率性に大きな影響を及ぼすため、早期段階で認知する必要があります。そのため、品質保証は太陽電池の製造において非常に重要なプロセスと言えます。
バルーフのSWIR(Short Wave Infrared Radiometer：短波赤外）イメージセンサは、波長1700nmまでの可視光を超える波長で、様々なアプリケーションの可能性を広げます。SWIR光を使用するとシリコンが透明になるため、ウェハの構造検査が極めて簡単になります。
標準品がお客様のご要望に合いませんか？標準で取り揃えた製品群に加えて、カスタマイズソリューションも提供できます。ぜひ、ご相談ください。
Benjamin Renz、半導体・エレクトロニクス産業担当、グローバル・マーケット・セグメント・マネージャー
特徴
- 最先端のCMOSイメージセンサーを採用
- 困難な照明条件にも対応するローリングシャッターと裏面照明付きグローバルシャッター
- カメラ内のFPGAでデータの簡易処理で上位の解析演算を簡素化
- アプリケーションに合わせたカスタマイズソリューションの提供
ウェハ検査用製品
お問い合わせ
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions
-
Industrial cameras with SWIR and UV sensors