웨이퍼 존재 여부 감지
안정적인 공정을 보장하기 위해서는 발루프의 탈가스 분석에 최적인 확산 광센서를 사용하여 웨이퍼 또는 캐리어의 존재 여부를 모니터 할 수 있습니다. 외부 증폭기가 있는 적외선 센서는 진공 상태에서 사용하기 적합합니다. 아주 적은 취약 영역이 있는 1.7mm 높이의 초박형 폼 팩터는 진공 챔버의 제한된 공간에서 완벽합니다.
주요 특성
- 초박형 설치 높이로 공간 절약
- 사각지대 없음
- 매우 견고한 스테인리스 스틸 본체
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