Ultraploché senzory na výrobu doštičiek

Obrázok: Obrázok: Oplatka na koncovom efektori. Zdroj obrázku: © Fabmatics GmbH

Priemyselné odvetvie:Odvetvie: polovodičový priemyselZákazník:Fabmatics GmbH, Drážďany, Nemecko

Spoločnosť Fabmatics GmbH so sídlom v Drážďanoch je skúseným špecialistom na automatizáciu materiálových tokov a manipulačných procesov v továrňach na výrobu polovodičov, v závodoch na výrobu polovodičov a v iných technologicky vyspelých výrobných prostrediach. Spoločnosť bola založená v roku 1991 a už viac ako 30 rokov úspešne realizuje projekty automatizácie podľa požiadaviek zákazníkov v polovodičovom priemysle. Výsledkom je silná pozícia na trhu, najmä v oblasti modernizácie 200-milimetrových polovodičových tovární po celom svete.

Situácia

Na detekciu substrátov v manipulačných systémoch pre polovodičový priemysel sa v koncových efektoroch zvyčajne musia používať veľmi ploché snímače, aby sa zachoval malý obrys koncového efektora. V tzv. wafer boxoch sú jednotlivé - veľmi cenné - wafery uložené len veľmi blízko seba. Skutočný voľný priestor, ktorý je k dispozícii pre koncový efektor, sa zmenšuje aj ďalšími vplyvmi. Výsledkom sú geometrie koncových efektorov, ktoré sú niekedy hrubé len niekoľko milimetrov.

Okrem požiadavky vytvárať čo najmenšie množstvo častíc je potrebné minimalizovať aj kontamináciu spôsobenú napríklad odplynením uhľovodíkov z plastov.

Výzva

Neustále rastúca miniaturizácia polovodičových súčiastok vedie k čoraz väčším požiadavkám na to, aby použité materiály neboli kontaminované. To sa dá dosiahnuť len výberom vhodných materiálov. Tieto všeobecné podmienky znamenajú, že senzory potrebné na zisťovanie prítomnosti substrátov musia mať veľmi plochý dizajn bez toho, aby sa znížila spoľahlivosť alebo detekčná schopnosť.

Veľkosť snímača a použité materiály sú preto obzvlášť dôležité.

Riešenie

Spoločnosť Balluff má široké portfólio na splnenie tejto požiadavky. Vďaka desaťročiam skúseností v oblasti senzorovej techniky sa rýchlo našiel vhodný systém.

Ako sa realizoval?

Ako alternatívu k optickým senzorom ponúka spoločnosť Balluff veľmi tenké kapacitné senzory v tvare disku. Výhodou takýchto senzorov je nezávislosť od povrchu snímaného materiálu. Táto kompaktná konštrukcia umožňuje navrhnúť čo najmenší koncový efektor, čím sa zabezpečí kompaktná a efektívna manipulácia s materiálom.

Spoločnosť Balluff rieši problém zabránenia kontaminácie odplynením tým, že v konštrukcii týchto senzorov používa špeciálne materiály, ako je nehrdzavejúca oceľ a teflón® (PTFE). To zaručuje používanie bez odplyňovania a umožňuje bezproblémovú výrobu.

Výhody

Výrobky

Spoločnosť Fabmatics používa kapacitné senzory na detekciu kotúčov doštičiek v koncovom efektori. V tejto oblasti existuje veľké množstvo rôznych variantov a oblastí použitia. Použitie spínacích zosilňovačov ponúka veľkú výhodu. Samotný senzor je veľmi malý, pretože vyhodnocovacia elektronika je umiestnená v externom puzdre - spínacom zosilňovači. Ten môže byť umiestnený v spínacej skrinke mimo oblasti detekcie, čím sa ušetrí cenné miesto v systéme.