Narovnanie waferov v predzrovnávači
Priveďte dokonale narovnaný wafer k procesnej komore, pričom ho v predzrovnávači presne polohujete. Od nás získate vynikajúce riešenie určené pre optický predzrovnávač: svetelný pás s vysokou rozlišovacou schopnosťou s mimoriadnou homogenitou. Vďaka tomu zaznamenáte aj drážky alebo roviny na presné vycentrovanie wafera. Navyše môžete náš svetelný pás ideálne integrovať v predzrovnávači.
Špeciálne vlastnosti
- veľmi presný laser s červeným svetlom: s vysokou schopnosťou rozlíšenia a mimoriadne homogénny
- riešenie individuálnych požiadaviek prostredníctvom rôznych dĺžok svetla
- s intuitívnou obsluhou
Súvisiace témy
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry