Gofret üretimi için ultra düz sensörler

Resim: Uç efektör üzerinde gofret. Görüntü kaynağı: © Fabmatics GmbH

Endüstri sektörü:Yarı iletken endüstrisiMüşteri:Fabmatics GmbH, Dresden, Almanya

Merkezi Dresden'de bulunan Fabmatics GmbH, yarı iletken fabrikalarında, yarı iletken proses tesislerinde ve diğer yüksek teknolojili üretim ortamlarında malzeme akışlarının ve taşıma süreçlerinin otomasyonu konusunda deneyimli bir uzmandır. 1991 yılında kurulan şirket, 30 yılı aşkın süredir yarı iletken endüstrisinde müşteriye özel otomasyon projelerini başarıyla gerçekleştirmektedir. Bu durum, özellikle dünya çapındaki 200 milimetrelik yarı iletken fabrikalarının modernizasyonunda güçlü bir pazar konumuyla sonuçlandı.

Durum

Yarı iletken endüstrisine yönelik taşıma sistemlerinde alt tabakaları algılamak için, uç efektörün konturunu küçük tutmak amacıyla genellikle uç efektörlerde çok düz sensörler kullanılması gerekir. Gofret kutuları olarak adlandırılan kutularda, tek tek - çok değerli - gofretler yalnızca birbirine çok yakın istiflenir. Uç efektör için mevcut boş alan da diğer etkilerle azalır. Bu da bazen sadece birkaç milimetre kalınlığında uç efektör geometrileriyle sonuçlanır.

Mümkün olduğunca az partikül üretme gerekliliğine ek olarak, örneğin plastiklerden çıkan hidrokarbonların neden olduğu kirlenmeyi de en aza indirmek gerekir.

Meydan okuma

Yarı iletken bileşenlerin sürekli artan minyatürleştirilmesi, kullanılan malzemelerin kontaminasyondan arındırılmış olması için sürekli artan taleplere yol açmaktadır. Bu da ancak uygun malzemelerin seçilmesiyle sağlanabilir. Bu genel koşullar, alt tabakaların varlığını tespit etmek için gereken sensörlerin güvenilirlik veya algılama kapasitesinden ödün vermeden ultra düz bir tasarıma sahip olması gerektiği anlamına gelir.

Bu nedenle sensörün boyutu ve kullanılan malzemeler özellikle önemlidir.

Çözüm

Balluff bu gereksinimi karşılamak için geniş bir portföye sahiptir. Sensör teknolojisi alanındaki onlarca yıllık deneyim sayesinde, uygun bir sistem hızla bulundu.

Nasıl uygulandı?

Balluff, optik sensörlere alternatif olarak disk şeklinde, çok ince kapasitif sensörler sunmaktadır. Bu tür sensörler, algılanacak malzemenin yüzeyinden bağımsız olma avantajı sunar. Bu kompakt tasarım, son efektörün mümkün olduğunca küçük tasarlanmasını ve böylece kompakt ve verimli malzeme kullanımını sağlar.

Balluff, bu sensörlerin yapımında paslanmaz çelik ve Teflon® (PTFE) gibi özel malzemeler kullanarak gaz çıkışı yoluyla kirlenmeyi önleme zorluğunu çözmektedir. Bu, gazsız kullanımı garanti eder ve sorunsuz üretim sağlar.

Avantajlar

Ürünler

Fabmatics, son efektördeki gofret disklerini algılamak için kapasitif sensörler kullanır. Bu alanda çok sayıda farklı varyant ve uygulama alanı vardır. Anahtarlama amplifikatörlerinin kullanımı büyük bir avantaj sunar. Değerlendirme elektroniği harici bir muhafazaya - anahtarlama amplifikatörüne - yerleştirildiği için sensörün kendisi çok küçüktür. Bu, algılama alanının dışındaki bir anahtar kutusuna yerleştirilebilir, böylece sistemde değerli alandan tasarruf edilir.