Ortamla temas eden proses sıvılarını tespit edin

Yarı iletken üretimi, üretim döngüsü boyunca birkaç kez gerçekleştirilen ultra saf su ile temizleme gibi birçok ıslak işlem içerir. Aşındırma gibi diğer prosesler ise agresif kimyasallar gerektirir. Proses ne olursa olsun, gerekli sıvılar tanklarda depolanmalı ve seviyeleri izlenmelidir.

Ancak, aşındırıcı kimyasalların seviyesinin ölçülmesi sensörler için özel bir zorluk oluşturabilir. Özellikle de tank duvarı dışarıdan algılamaya izin vermiyorsa. Bu durumda, PTFE kaplı muhafazaya sahip kapasitif sensörlerimiz doğru seçimdir. Bunlar aşağıdakileri algılayabilir Asitler ve alkaliler gibi yüksek iletkenliğe sahip maddelerin seviyesini doğrudan proses sıvısı içinde tespit eder. Bu, aşındırma, direnç uygulaması, litografi sonrası geliştirme veya kimyasal-mekanik parlatma ve gofretin temizlenmesinin planlandığı gibi başlayabileceği anlamına gelir.

Seviye sensörlerimizin gövde malzemeleri paslanmaz çelikten veya PTFE veya PEEK gibi kimyasal olarak dayanıklı plastiklerden yapılmıştır inert ve ısıya çok dayanıklıdır ısıya dayanıklıdır. Özel sensör muhafazalarımız agresif asitlere dayanabildiğinden, çok agresif ortamların seviye izlemesi bile ortamla temas halinde çözülebilir.

Bu nedenle ıslak sensörlerimiz aşağıdakiler için idealdir yari i̇letken endüstri̇si̇nde otomasyon.

Yarı iletken endüstrisinde ıslak seviye izleme ürünleri

Sistemlerinizden en iyi verimi alalım