Technológiai folyadékok érzékelése közeggel érintkező szenzorokkal
Félvezető szelet (wafer) feldolgozás: szintellenőrzés maró környezetben
A félvezetőgyártás számos nedves folyamatot foglal magában, mint például az ultra-tiszta vízzel történő tisztítást, amelyet a gyártási ciklus során többször is elvégeznek. Más műveletek, mint például a maratás, agresszív vegyszereket igényelnek. Az eljárástól függetlenül a szükséges folyadékokat tartályokban kell tárolni, és szintjüket ellenőrizni kell.
A korrozív vegyszerek szintjének mérése azonban különleges kihívást jelenthet az érzékelők számára, különösen akkor, ha a tartály fala nem teszi lehetővé a külső érzékelést. Ebben az esetben a PTFE-bevonatú házzal ellátott kapacitív érzékelőink jelentik a megfelelő választás. Ezek képesek érzékelni a nagy vezetőképességű közegek - például savak és lúgok - szintjét közvetlenül a technológiai folyadékban. Ez a megerősítés azt jelenti, hogy a maratás, a védőréteg felvitele, a litográfiát követő fejlesztés vagy a kémiai-mechanikai polírozás és a félvezető szelet (wafer) tisztítása a terv szerint megkezdődhet.
Szintérzékelőink házának anyaga rozsdamentes acélból vagy kémiailag ellenálló műanyagokból, például PTFE-ből vagy PEEK-ből készül, amelyek inertek és nagyon hőállóak, továbbá ellenállnak az agresszív savaknak.
Ez teszi a közeggel érintkező érzékelőinket alkalmassá a félvezetőipar automatizálására.
A szabvány nem felel meg teljesen az Ön követelményeinek? Átfogó standard portfóliónk mellett egyedi megoldásokat is kínálunk. Vegye fel velünk a kapcsolatot, hogy megbeszélhessük az Ön igényeit.
Benjamin Renz, globális piaci szegmensmenedzser, félvezetők és elektronika
Különleges jellemzők
- Magas kémiai ellenállás pl. a PTFE háznak köszönhetően
- Savakhoz, lúgokhoz, ultra-tiszta vízhez és hígtrágyához
- A Smart Level technológia kompenzálja a habképződést és a lerakódást
- Pontos és megbízható érzékelés
Termékek a közeggel érintkező szintfelügyelethez a félvezetőiparban
Segítünk abban, hogy a legjobbat hozza ki rendszereiből
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions