Belépés

Kérjük jelentkezzen be, hogy megtekinthesse saját árait.

Elfelejtette a jelszavát?
REGISZTRÁLJA VÁLLALATI FIÓKJÁT

Személyes online fiókját ellenőrzés után a cégéhez kapcsoljuk

Regisztráció

Kapcsolat és szerviz

Termékek
Üzletágak és Megoldások
Szolgáltatások
Vállalat

Automatizálás a félvezetőiparban

Precizitás a félvezetők, napelemek és kijelzők gyártásához

Megoldások a félvezetőipar számára

Mobilkommunikáció, az IoT, Intelligens Gyárak, Intelligens Otthon - mindezeket a fejlesztéseket a folyamatos digitalizáció vezérli. Ezeknek a technológiáknak a középpontjában a félvezetők állnak, amelyek nélkülözhetetlenek az iparban, mint a mikrochipek legfőbb összetevői.A félvezetőkkel szemben támasztott követelmények a digitális átalakulással együtt növekednek – a chipeknek folyamatosan erősebbé kell válniuk. Ugyanakkor a félvezetők előállításához gazdaságilag rendkívül összetett és technológiaigényes folyamatot kell elsajátítani.

A Balluff kompetens támogatást nyújt Önnek a chip- és napenergia-iparban használt lemezek feldolgozásához, valamint a kijelzőgyártáshoz.

A Balluff automatizálási megoldásai a félvezetőipar számára

Az egyedi és igényes követelmények gyakran testre szabott megoldásokat igényelnek. Termékpalettánk standard és egyedi típusokat kínál a Customer Design &; Engineering (CDE) osztályunktól.
A MicroSPOT technológiával ellátott innovatív és nagy pontosságú optoelektronikus érzékelőinkkel kivételesen nagy folyamatpontosság garantált. Az érzékelőfejek és a külső kiértékelő egység könnyen integrálhatók a gépekbe.
Ezenkívül bizonyos érzékelők speciális tervezési jellemzői lehetővé teszik, hogy közvetlenül vákuumban használják őket.
A helykritikus automatizálási alkalmazásokhoz portfóliónk különösen kompakt, mégis nagy teljesítményű érzékelőket is tartalmaz.


"A félvezetőipar a mai világ kritikus sarokköve, amely számos ágazatban az innováció motorja. Globális piaci szegmensmenedzserként az a célom, hogy folyamatosan nyomon kövessem a piaci fejleményeket, megértsem a félvezetőgyártás egyedi követelményeit, és így biztosítsam, hogy ajánlataink a legjobb eredményeket hozzák az iparág minden felhasználási területén. Ma már a félvezetőgyártási szegmensből származó ügyfeleket szolgálunk ki különböző területeken, mint például a félvezető szelet kezelése, feldolgozása vagy a hordozókezelés."

(Benjamin Renz, globális piaci szegmensmenedzser, félvezetők és elektronika)

Reflektorfényben lévő alkalmazások a félvezetőiparban

Tudjon meg többet a kiválasztott alkalmazásokról, amelyek betekintést nyújtanak abba, hogy a félvezetőipar speciális kihívásai hogyan oldhatók meg megbízhatóan és precízen a Balluff alkatrészeivel.


További példák az egyes felhasználási területekhez

Fedezze fel, hogy a Balluff megoldásai hogyan biztosítják a rendkívüli precizitást a félvezetőgyártás minden kritikus lépésében.

Wafer kezelés:
Nagy pontosság még a folyamat lépései között is

Az EFEM modulban, például a végeffektoron vagy az előbeállítón történő szeletkezeléshez a Balluff nagy pontosságot biztosít. Mert csak rendkívüli pontossággallehet a wafereket pontosan pozicionálni és megbízhatóan szállítani,hogy minden egyes feldolgozási lépéshez adagolják őket.

Érzékelőink és rendszereink kis kivitelben kaphatóak a gépbe való egyszerű integrálás érdekében. Különösen nehéz körülmények között is egyedileg igazítjuk technológiánkat az Ön igényeihez.

Az érintésmentes mérési elvek elkerülik a kopást, így a tisztatéri osztály az egész folyamat során garantált. Használja a szeletek kezelésének megbízható felügyeletét, és védje meg folyamatait.


Félvezető-szelet feldolgozás:
Megbízható működés kémiai környezetben

A félvezetőgyártás speciális követelményeinek való megfelelés érdekében a Balluff optimális megoldásokat kínál a nedves kémiai folyamatokhoz. A speciális PTFE házak megbízható szintszabályozást tesznek lehetővé, például maratás, wafer-tisztítás vagy bevonás során, és litográfiában történő fejlesztéskor. Hőmérséklet-érzékelőink biztosítják, hogy a folyamat hőmérséklete is megfelelő legyen. Az érintkezőérzékelők lehetővé teszik a hőmérséklet megbízható felügyeletét a félvezető szelet feldolgozása során.

Érzékelőinkkel a szelep löketét is szabályozhatja a wafer feldolgozása során, így homogén és ideális rétegeket hozhat létre lerakódás esetén.


Hordozókezelés:
Pontos pozicionálás érintkezés nélkül

A Balluff rendszerei támogatják a hordozók precíz és hatékony kezelését,legyen szó akár FOUP, akár SMIF podról. Rendszereinkkel nyomon követheti az AMHS mozgását a teljesen automatikus szállítószállítás során. Ezt rendkívül megbízhatóan teszik, mind rövid távolságokon RGV, mind nagy távolságokon OHV segítségével.

Ugyanakkor az érintésmentes rendszerek pontos pozicionálást biztosítanak. Ez azt jelenti, hogy a waferek biztonságosan adagolhatók minden feldolgozási lépéshez.A súrlódás és a törés nem jelent problémát.

A Balluff rendszerei a következetes nyomon követhetőséget is garantálják. Ezek biztosítják, hogy a hordozó pozíciója valós időben dokumentálva legyen.


Vákuumos alkalmazások:
A folyamat megbízhatóságának támogatása

A félvezetőiparban a félvezető szeleteket gyakran vákuumkörnyezetben dolgozzák fel a tiszta és szennyeződésmentes környezet biztosítása érdekében.

A Balluff érzékelői kiemelkedő tulajdonságokkal és tervezési jellemzőkkel vannak ellátva, melyek lehetővé teszik közvetlen vákuumban történő használatukat. Például a vákuumzárban menet közben történő igazításhoz vagy a waferek jelenlétének ellenőrzéséhez. Tömítő funkcióval ellátott becsavarozható változatokat és érzékelőket kínálunk közvetlenül nagy vákuumba történő telepítéshez. Kigázosodásra optimalizált anyagokat használunk a folyamat megbízhatóságának biztosítása érdekében.Kérésére az érzékelőket az Ön által megadott anyagokból is legyártjukAz érzékelők jelei biztonságosan elvezetik az elektromos kábeleken keresztül a kábelperselyek segítségével.


Kiemelt termékek a félvezetőipar számára

Fedezze fel a félvezetőipar követelményeihez kifejlesztett speciális termékeket. Legyen szó akár a félvezető szeletek feltérképezésének pontosságáról, akár az ALD szelepek különösen nagy robusztusságáról, termékeink segítenek növelni a gépek rendelkezésre állását, továbbá biztosítani a termékminőséget.

Engedje meg, hogy segítsünk Önnek a legjobbat kihozni rendszereiből

Downloads

  • Industry brochure semiconductor industry
  • Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
  • Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
  • Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
  • BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
  • Micromote – high optical performance in the smallest space

Kérdése vagy javaslata van? Szívesen segítünk!

Többféle módon is kapcsolatba léphet velünk. Keressen minket elérhetőségeink egyikén!

Vegye fel velünk a kapcsolatot közvetlenül telefonon:
+36 88 442 623


Balluff-Elektronika Kft.

8200 Veszprém
Pápai út 55