Termékek
- Kiemelkedő érzékelő és hálózati technológia a csomagoló-, élelmiszer-, ital-, gyógyszer- és kozmetikai ipar számára
- Élettudomány
- Hajtástechnika
- Automatizálás a félvezetőiparban
- Acélipar és kohászat
- Fémmegmunkálás
- Mobil munkagépek
- Autóipar és beszállítók
- Folyadéktechnológia
- Műanyagipar
- Energiatermelés
- Intralogisztikai automatizálás: a hatékonyság és a teljesítmény javítása
- Fehéráruk
- Elektronikai ipar
- Akkumulátorgyártás automatizálása: kiváló hatékonyság és minőség elérése
- Abroncsgyártás
- Közlekedéstechnológia
Automatizálás a félvezetőiparban
Precizitás a félvezetők, napelemek és kijelzők gyártásához
Mobilkommunikáció, az IoT, Intelligens Gyárak, Intelligens Otthon - mindezeket a fejlesztéseket a folyamatos digitalizáció vezérli. Ezeknek a technológiáknak a középpontjában a félvezetők állnak, amelyek nélkülözhetetlenek az iparban, mint a mikrochipek legfőbb összetevői.A félvezetőkkel szemben támasztott követelmények a digitális átalakulással együtt növekednek – a chipeknek folyamatosan erősebbé kell válniuk. Ugyanakkor a félvezetők előállításához gazdaságilag rendkívül összetett és technológiaigényes folyamatot kell elsajátítani.
A Balluff kompetens támogatást nyújt Önnek a chip- és napenergia-iparban használt lemezek feldolgozásához, valamint a kijelzőgyártáshoz.
A Balluff automatizálási megoldásai a félvezetőipar számára
Az egyedi és igényes követelmények gyakran testre szabott megoldásokat igényelnek. Termékpalettánk standard és egyedi típusokat kínál a Customer Design &; Engineering (CDE) osztályunktól.
A MicroSPOT technológiával ellátott innovatív és nagy pontosságú optoelektronikus érzékelőinkkel kivételesen nagy folyamatpontosság garantált. Az érzékelőfejek és a külső kiértékelő egység könnyen integrálhatók a gépekbe.
Ezenkívül bizonyos érzékelők speciális tervezési jellemzői lehetővé teszik, hogy közvetlenül vákuumban használják őket.
A helykritikus automatizálási alkalmazásokhoz portfóliónk különösen kompakt, mégis nagy teljesítményű érzékelőket is tartalmaz.
"A félvezetőipar a mai világ kritikus sarokköve, amely számos ágazatban az innováció motorja. Globális piaci szegmensmenedzserként az a célom, hogy folyamatosan nyomon kövessem a piaci fejleményeket, megértsem a félvezetőgyártás egyedi követelményeit, és így biztosítsam, hogy ajánlataink a legjobb eredményeket hozzák az iparág minden felhasználási területén. Ma már a félvezetőgyártási szegmensből származó ügyfeleket szolgálunk ki különböző területeken, mint például a félvezető szelet kezelése, feldolgozása vagy a hordozókezelés."
(Benjamin Renz, globális piaci szegmensmenedzser, félvezetők és elektronika)
Reflektorfényben lévő alkalmazások a félvezetőiparban
Tudjon meg többet a kiválasztott alkalmazásokról, amelyek betekintést nyújtanak abba, hogy a félvezetőipar speciális kihívásai hogyan oldhatók meg megbízhatóan és precízen a Balluff alkatrészeivel.
További példák az egyes felhasználási területekhez
Fedezze fel, hogy a Balluff megoldásai hogyan biztosítják a rendkívüli precizitást a félvezetőgyártás minden kritikus lépésében.
Wafer kezelés:
Nagy pontosság még a folyamat lépései között is
Az EFEM modulban, például a végeffektoron vagy az előbeállítón történő szeletkezeléshez a Balluff nagy pontosságot biztosít. Mert csak rendkívüli pontossággallehet a wafereket pontosan pozicionálni és megbízhatóan szállítani,hogy minden egyes feldolgozási lépéshez adagolják őket.
Érzékelőink és rendszereink kis kivitelben kaphatóak a gépbe való egyszerű integrálás érdekében. Különösen nehéz körülmények között is egyedileg igazítjuk technológiánkat az Ön igényeihez.
Az érintésmentes mérési elvek elkerülik a kopást, így a tisztatéri osztály az egész folyamat során garantált. Használja a szeletek kezelésének megbízható felügyeletét, és védje meg folyamatait.
Félvezető-szelet feldolgozás:
Megbízható működés kémiai környezetben
A félvezetőgyártás speciális követelményeinek való megfelelés érdekében a Balluff optimális megoldásokat kínál a nedves kémiai folyamatokhoz. A speciális PTFE házak megbízható szintszabályozást tesznek lehetővé, például maratás, wafer-tisztítás vagy bevonás során, és litográfiában történő fejlesztéskor. Hőmérséklet-érzékelőink biztosítják, hogy a folyamat hőmérséklete is megfelelő legyen. Az érintkezőérzékelők lehetővé teszik a hőmérséklet megbízható felügyeletét a félvezető szelet feldolgozása során.
Érzékelőinkkel a szelep löketét is szabályozhatja a wafer feldolgozása során, így homogén és ideális rétegeket hozhat létre lerakódás esetén.
Hordozókezelés:
Pontos pozicionálás érintkezés nélkül
A Balluff rendszerei támogatják a hordozók precíz és hatékony kezelését,legyen szó akár FOUP, akár SMIF podról. Rendszereinkkel nyomon követheti az AMHS mozgását a teljesen automatikus szállítószállítás során. Ezt rendkívül megbízhatóan teszik, mind rövid távolságokon RGV, mind nagy távolságokon OHV segítségével.
Ugyanakkor az érintésmentes rendszerek pontos pozicionálást biztosítanak. Ez azt jelenti, hogy a waferek biztonságosan adagolhatók minden feldolgozási lépéshez.A súrlódás és a törés nem jelent problémát.
A Balluff rendszerei a következetes nyomon követhetőséget is garantálják. Ezek biztosítják, hogy a hordozó pozíciója valós időben dokumentálva legyen.
Vákuumos alkalmazások:
A folyamat megbízhatóságának támogatása
A félvezetőiparban a félvezető szeleteket gyakran vákuumkörnyezetben dolgozzák fel a tiszta és szennyeződésmentes környezet biztosítása érdekében.
A Balluff érzékelői kiemelkedő tulajdonságokkal és tervezési jellemzőkkel vannak ellátva, melyek lehetővé teszik közvetlen vákuumban történő használatukat. Például a vákuumzárban menet közben történő igazításhoz vagy a waferek jelenlétének ellenőrzéséhez. Tömítő funkcióval ellátott becsavarozható változatokat és érzékelőket kínálunk közvetlenül nagy vákuumba történő telepítéshez. Kigázosodásra optimalizált anyagokat használunk a folyamat megbízhatóságának biztosítása érdekében.Kérésére az érzékelőket az Ön által megadott anyagokból is legyártjukAz érzékelők jelei biztonságosan elvezetik az elektromos kábeleken keresztül a kábelperselyek segítségével.
Kiemelt termékek a félvezetőipar számára
Fedezze fel a félvezetőipar követelményeihez kifejlesztett speciális termékeket. Legyen szó akár a félvezető szeletek feltérképezésének pontosságáról, akár az ALD szelepek különösen nagy robusztusságáról, termékeink segítenek növelni a gépek rendelkezésre állását, továbbá biztosítani a termékminőséget.
Engedje meg, hogy segítsünk Önnek a legjobbat kihozni rendszereiből
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions
-
Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
-
BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
-
Micromote – high optical performance in the smallest space
