Kontrola prítomnosti waferov

Naše optoelektronické snímače so vzdialenou elektronikou zaznamenávajú špeciálnou optikou s malým svetelným bodom prítomnosť wafera alebo nosiča pomocou optického kanála. Pre vákuum dimenzované difúzne optické snímače s krytom z ušľachtilej ocele jednoducho zaskrutkujte do procesnej komory. Komora sa tým utesní a káblová priechodka viac nie je potrebná.

Špeciálne vlastnosti