Zachytávanie procesných kvapalín v kontakte s médiom

Výroba polovodičov zahŕňa mnoho mokrých procesov, ako je čistenie ultračistou vodou, ktoré sa vykonáva niekoľkokrát počas výrobného cyklu. Iné procesy, ako napríklad leptanie, si vyžadujú agresívne chemikálie. Bez ohľadu na proces sa požadované kvapaliny musia skladovať v nádržiach a ich hladiny sa musia monitorovať.

Meranie hladiny korozívnych chemikálií však môže pre snímače predstavovať osobitnú výzvu. Najmä ak stena nádrže neumožňuje detekciu zvonku. V takom prípade sú naše kapacitné snímače s puzdrom potiahnutým PTFE správnou voľbou. Tie dokážu detegovať zisťovať hladinu vysoko vodivých médií - ako sú kyseliny a zásady - priamo v procesnej kvapaline. To znamená, že leptanie, nanášanie rezistu, vývoj po litografii alebo chemicko-mechanické leštenie a čistenie doštičky sa môže začať podľa plánu.

Materiály puzdier našich snímačov hladiny sú vyrobené z nehrdzavejúcej ocele alebo chemicky odolných plastov, ako sú PTFE alebo PEEK, ktoré sú inertné a veľmi odolné voči teplu Dokonca aj monitorovanie hladiny veľmi agresívnych médií možno riešiť v kontakte s médiom, pretože naše špeciálne puzdrá snímačov odolávajú agresívnym kyselinám.

Naše senzory na detekciu kvapalín sú preto ideálne na automatizáciu v polovodičovom priemysle.

Výrobky na monitorovanie výšky hladiny vo vlhkom prostredí v polovodičovom priemysle

Dovoľte nám, aby sme z vašich systémov vyťažili to najlepšie