Produkty
- Vynikajúce senzory a sieťové technológie pre baliaci, potravinársky, nápojový, farmaceutický a kozmetický priemysel
- Automatizácia vo výrobe polovodičov
- Mobilné pracovné stroje
- Oceliarsky a hutnícky priemysel
- Veda o živote
- Technika pohonov
- Obrábanie kovov
- Automobilový priemysel a dodávatelia pre automobilový priemysel
- Pneumatické tekutinové mechanizmy
- Priemyselné odvetvie - výroba plastov
- Získavanie energie
- Automatizácia intralogistiky: zvýšenie efektívnosti a priepustnosti
- Biela technika
- Elektrotechnický priemysel
- Revolúcia v automatizácii výroby batérií: zabezpečenie maximálnej efektívnosti a kvality
- Priemysel spracovania pneumatík
- Doprava
Automatizácia vo výrobe polovodičov
Presnosť pre výrobu polovodičov, solárnych zariadení a displejov
Mobilná komunikácia, IoT, inteligentná továreň, inteligentná domácnosť - vývoj je poháňaný nastupujúcou digitalizáciou. Základom všetkých týchto technológií súpolovodiče, ktoré sú v priemysle nenahraditeľné ako hlavná súčasť mikročipov.Polovodiče sú v priemysle nenahraditeľné. S postupujúcou digitalizáciou sa zvyšujú aj nároky na polovodiče. Čipy musia byť stále výkonnejšie. Zároveň sa pri výrobe polovodičov musí ekonomicky zvládnuť veľmi zložitý a technologicky mimoriadne náročný proces.
Balluff ponúka kompetentnú podporu pri spracovaní kremíkových plátkov vo výrobe mikročipov, solárnych panelov, ako aj pri výrobe displejov.
Automatizačné riešenia od spoločnosti Balluff pre výrobu polovodičov
Individuálne náročné požiadavky si často vyžadujú riešenia na mieru. Náš sortiment produktov ponúka štandardné riešenia, ako aj riešenia na mieru z oblasti Customer Design & Engineering (CDE).
Vysokú presnosť procesov zaručujú naše inovatívne a veľmi presné optické snímače s technológiou MicroSPOT. Snímače a ich externú vyhodnocovaciu jednotku možno jednoducho integrovať do vašich strojov.
Konštrukcia niektorých snímačov umožňuje ich použitie vo vákuu.
Pre priestorovo kritické automatizačné aplikácie naše portfólio zahŕňa aj miniatúrne, ale výkonné senzory.
"Výroba polovodičov je v dnešnom svete dôležitým základom, ktorý poháňa inovácie v rôznych odvetviach. Mojím cieľom ako manažéra globálneho trhového segmentu je neustále monitorovať vývoj na trhu, pochopiť jedinečné požiadavky v oblasti výroby polovodičov a zabezpečiť, aby naša ponuka prinášala výsledky vo všetkých prípadoch použitia v tomto odvetví. Už dnes obsluhujeme zákazníkov zo segmentu výroby polovodičov v rôznych oblastiach, ako je napríklad manipulácia s plátkami, spracovanie plátkov alebo manipulácia s nosičmi."
(Benjamin Renz, manažér globálneho trhového segmentu pre polovodiče a elektroniku)
Hlavné aplikácie vo výrobe polovodičov
Prečítajte si viac o vybraných aplikáciách, ktoré vám umožnia nahliadnuť do toho, ako sa pomocou komponentov Balluff spoľahlivo a presne riešia špecifické úlohy vo výrobe polovodičov.
Ďalšie príklady aplikácií, vhodné pre individuálne oblasti použitia
Zistite, ako riešenia Balluff spoľahlivo zabezpečujú vysokú presnosť v procese výroby polovodičov.
Manipulácia s plátkami:
Vysoká presnosť aj medzi jednotlivými krokmi procesu
Pri manipulácii s wafermi v module EFEM, napríklad na koncovom efektore alebo v príprave zarovnávania, vám riešenie Balluff poskytuje vysokú presnosť. Len s mimoriadnou presnosťou možno plátkypresne polohovať, spoľahlivo prepravovaťa podávať do následného kroku spracovania.
Naše snímače a systémy sú k dispozícii v miniatúrnych rozmeroch, vhodné na jednoduchú integráciu do stroja. Pre obzvlášť náročné podmienky môžeme našu technológiu prispôsobiťpožiadavkám zákazníka.
Bezkontaktné meranie prispieva k čistote procesu, tá je zaručená počas celého procesu. Využite spoľahlivé monitorovanie manipulácie s plátkami a zabezpečte výrobu.
Spracovanie kremíkových plátkov:
Spoľahlivosť v prostredí s prítomnosťou chemikálií
Na splnenie špeciálnych požiadaviek výroby polovodičov ponúka Balluff optimálne riešenia pre mokré výrobné procesy s využitím chemikálií. Špeciálne puzdrá z PTFE puzdrami umožňujú spoľahlivú kontrolu hladiny - napríklad počas leptania, čistenia doštičiek alebo nanášania a vyvolávania v litografií. Naše snímače teploty zabezpečujú správnu teplotu procesu. Kontaktné snímače teploty spoľahlivo monitorujú teplotu počas spracovania kremíkových plátkov.
Pomocou našich snímačov možno kontrolovať zdvih ventilu, na vytváranie ideálnych homogénnych vrstiev počas expozície.
Manipulácia s nosičmi:
Presné bezkontaktné polohovanie
Systémy Balluff podporujú presnú a efektívnu manipuláciu s nosičmibez rozdielu, či ide o nosič FOUP alebo pod SMIF. S našimi systémami monitorujete pohyby AMHS počas plne automatickej prepravy nosičov. Mimoriadne spoľahlivo, a to na krátkych vzdialenostiach s RGV aj na dlhých vzdialenostiach s OHV.
Bezkontaktné systémy zabezpečujú presné polohovanie. To znamená bezpečnú dodávku kremíkových plátkov do každého kroku spracovania. Trenie a štiepenie nepredstavujú žiadny problém.
Systémy Balluff zaručujú aj identifikáciu a tracking v celom procese,pozícia nosiča je zaznamenávaná a zdokumentovaná v reálnom čase.
Vákuové aplikácie:
spoľahlivosť procesu
Vo výrobe polovodičov sa kremíkové plátky často spracovávajú vo vákuovom prostredí, aby sa zabezpečila čistota aprostredie bez kontaminácie.
Snímače Balluff sa vyznačujú konštrukciou, ktorá umožňuje ich priame použitie vo vákuu. Napríklad na zarovnávanie za chodu vo vákuovom procese alebo na kontrolu prítomnosti plátkov. Ponúkame verzie so závitom s tesniacou funkciou, ako aj snímače na inštaláciu priamo vo vysokom vákuu. Používame optimalizované materiály zbavené čiastočiek plynu, aby sme zabezpečili spoľahlivosť procesu.Na žiadosť zákazníka môžeme snímače vyrobiť aj z určených materiálov.Signály zo snímačov sú bezpečne vyvedené elektrickými káblami pomocou káblových priechodiek.
Najdôležitejšie produkty pre výrobu polovodičov
Objavte špecializované produkty, ktoré spĺňajú požiadavky vo výrobe polovodičov. Či už vďaka presnosti pri určovaní pozície plátkov alebo vďaka mimoriadne vysokej odolnosti pri monitorovaní ALD ventilov - naše produkty vám pomôžu zvýšiť spoľahlivosť a zabezpečiť kvalitu výrobkov.
Nechajte nás vyťažiť z vašich systémov to najlepšie
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
-
Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
-
BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
-
Micromote – high optical performance in the smallest space
