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無接觸準確定位

無接觸準確定位

巴魯夫系統支持精確高效的載體處理 - 無論載體是 FOUP 還是 SMIF 吊艙。使用我們的系統,您可以在全自動運輸載體期間監控 AMHS 的運動。這在使用 RGV 的短途旅行和使用 OHV 的長途旅行中都非常可靠。

同時,非接觸式系統可確保准確定位。您的晶圓可以安全地送入每個加工步驟。摩擦和分裂不是問題。

巴魯夫系統還保證了持續的可追溯性。這些確保實時記錄載體位置。

應用實例