Industria de semiconductores

Comunicación móvil – El Internet de las cosas – Fábrica inteligente – Hogar inteligente. Detrás de estos desarrollos actuales está la digitalización. Y por tanto, los semiconductores con su pieza clave. Sin ninguna duda, la industria de semiconductores es una industria del futuro.

No obstante, junto al cambio digital crecen también las exigencias. Por ejemplo, los chips deben ser cada vez más potentes. En cuanto a la producción de chips se debe tener en cuenta que se trata de un proceso sumamente complejo desde el punto de vista tecnológico que se debe controlar con máxima eficiencia de costes.

Balluff le ofrece ayuda competente para el procesamiento de las plaquitas de la industria solar y de chip, así como para la producción de pantallas. Incluimos soluciones fiables en miniatura para aplicaciones en recinto estéril como, por ejemplo, para la manipulación de plaquitas o en entornos químicos agresivos. Nuestro amplio y profundo know how técnico nos permite resolver también sus tareas específicas de la aplicación de forma personalizada.

Manipulación de plaquitas: Alta precisión incluso entre los pasos del proceso

Balluff le proporciona alta precisión para la manipulación de plaquitas en el módulo EFEM como en el efector final o el alineador previo. Las plaquitas solo se pueden posicionar con máxima precisión y pasar a cada uno de los pasos de procesamiento con máxima precisión.

Nuestros sensores y sistemas están disponibles con un diseño compacto para resolver de forma sencilla la exigente integración en la máquina. En caso de condiciones especialmente difíciles, ya que cada efector final presenta un aspecto diferente, también podemos adaptar nuestra técnica de forma personalizada a sus exigencias.

Los principios de medición sin contacto evitan abrasión de tal modo que se garantiza la categoría del recinto estéril a lo largo de todo el proceso. Utilice la monitorización fiable de la manipulación de plaquitas y asegura su proceso.

Procesamiento de plaquitas: Actuar de forma fiable en entornos químicos

Balluff le proporciona soluciones óptimas para los procesos en los procesos químicos húmedos para cumplir los requisitos especiales en la producción de semiconductores. Unas carcasas de PTFE especiales le facilitan una verificación fiable del nivel de llenado, por ejemplo, durante el grabado, la limpieza de las plaquitas o la pintura y el desarrollo en la litografía. Nuestros sensores de temperatura se encargan de que la temperatura de proceso siempre sea la correcta. Nuestros sensores de contacto le permiten monitorizar de forma fiable las temperaturas durante el procesamiento de plaquitas.

Estos sensores también se encargan de controlar la elevación de válvula de tal modo que pueda generar capas homogéneas e ideales durante la deposición.

Manipulación de soportes: Posicionamiento exacto sin contacto

Los sistemas de Balluff facilitan la manipulación precisa y eficiente de los soportes. En este sentido no importa si el soporte es tipo FOUP o SMIF-Pod. Nuestros sistemas le permiten monitorizar los movimientos del AMHS durante el transporte completamente automático de los soportes. Todo ello lo hacen de forma sumamente fiable, tanto en trayectos cortos con otros RGV como también en trayectos largos con OHV.

Los sistemas sin contacto proporcionan al mismo tiempo un posicionamiento exacto. De este modo es posible suministra las plaquitas de forma segura a cada uno de los pasos de procesamiento. Gracias a ello, la fricción y separación no suponen ningún problema.

Los sistemas de Balluff garantizan además una trazabilidad ininterrumpida. Estos sistemas aseguran que la posición de soporte se documenta en tiempo real.

Aplicación de vacío: Para apoyo de la seguridad de procesos

Los sensores de Balluff le ofrecen por sus extraordinarias características constructivas la posibilidad de utilizarlos directamente en el vacío. Por ejemplo, cuando se centra la plaquita durante la alineación sobre la marcha en la esclusa de vacío o también cuando se trata de controlar su presencia.

De este modo le ofrecemos versiones para enroscar con función de impermeabilización, así como sensores para la instalación directa en el alto vacío. Sus señales se sacan con seguridad a través de cables eléctricos mediante pasamuros. Cabe destacar especialmente lo siguiente: Como utilizamos materiales optimizados para desgasificación para el sensor, su proceso sigue siendo seguro. Además fabricamos los sensores también con los materiales especificados por usted si así lo desea.