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안정적인 웨이퍼 매핑

안정적인 웨이퍼 매핑

절대적인 신뢰성으로 단 몇 μm 두께의 웨이퍼 가장자리를 감지합니다. 발루프의 Micromote 센서로 제어되고, 집중된 광점은 탁월한 정밀도를 제공합니다. 발루프의 Micromote 센서는 전체 슬롯(Slot), 이중 웨이퍼 또는 잘못 배치된 웨이퍼들을 항상 안정적으로 감지합니다. 유연한 케이블과 소형 폼 팩터로 설계의 자유를 누릴 수 있습니다.

주요 특성

  • 최소의 공간에서도 탁월한 정밀도 - 최소 개방 각도
  • 다양한 엔드 이펙트에 적용 가능
  • 모듈러 키트 시스템 - 특정 기계 설치 환경에 완벽

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  • Industry brochure semiconductor industry
  • Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space