제품
반도체 산업에서의 자동화
반도체, 태양광 및 디스플레이 생산을 위한 정밀도
모바일 통신, 사물 인터넷, 스마트 팩토리, 스마트 홈 - 이 모든 발전은 디지털화의 진전에 의해 주도되고 있습니다. 이 모든 기술의 중심에는마이크로칩의 주요 구성 요소로서 산업에서 없어서는 안 될 존재가 된 반도체입니다.산업에서 없어서는 안 될 존재가 되었습니다. 디지털화가 진행됨에 따라 반도체에 대한 요구도 증가하고 있습니다. 예를 들어, 칩은 더욱 강력해져야 합니다. 동시에 반도체 생산에서는 매우 복잡하고 기술적으로 매우 까다로운 공정을 경제적으로 마스터해야 합니다.
발루프는 디스플레이 생산뿐만 아니라 칩 및 태양광 산업에서 웨이퍼 가공을 위한 역량 있는 지원을 제공합니다.
반도체 산업을 위한 발루프의 자동화 솔루션
개별적이고 까다로운 요구사항에 따라 맞춤형 솔루션이 필요한 경우가 많습니다. 발루프의 제품군은 표준 솔루션과 고객 설계 및 엔지니어링(CDE)을 통한 맞춤형 솔루션을 모두 제공합니다.
발루프의 혁신적인 고정밀 광전자 센서인 마이크로스팟 기술은 매우 높은 공정 정확도를 보장합니다. 센서 헤드와 외부 평가 장치는 기계에 쉽게 통합할 수 있습니다.
또한 특정 센서의 특수 설계 기능 덕분에 진공 상태에서 직접 사용할 수 있습니다.
공간이 중요한 자동화 애플리케이션을 위해 발루프의 포트폴리오에는 특히 작지만 강력한 센서도 포함되어 있습니다.
"반도체 산업은 오늘날의 세계에서 매우 중요한 초석으로 다양한 분야에서 혁신을 주도하고 있습니다. 글로벌 시장 부문 매니저로서 저의 목표는 시장의 발전을 지속적으로 모니터링하고 반도체 제조 분야의 고유한 요구 사항을 이해하여 이 업계의 모든 사용 사례에서 당사의 제품이 최상의 결과를 가져올 수 있도록 하는 것입니다. 현재 우리는 이미 웨이퍼 취급, 웨이퍼 처리 또는 캐리어 취급과 같은 다양한 분야에서 반도체 제조 부문의 고객에게 서비스를 제공하고 있습니다."
(벤자민 렌츠, 반도체 및 전자제품 글로벌 시장 부문 매니저)
반도체 산업에서 주목받는 애플리케이션
발루프 부품을 사용하여 반도체 산업의 특정 과제를 안정적이고 정밀하게 해결하는 방법에 대한 인사이트를 제공하는 엄선된 어플리케이션에 대해 자세히 알아보십시오.
개별 적용 분야에 맞는 추가 적용 사례
발루프 솔루션이 반도체 제조의 모든 핵심 공정 단계에서 어떻게 극도의 정밀도를 보장하는지 확인해 보십시오.
웨이퍼 핸들링:
공정 단계 간에도 높은 정밀도
발루프는 엔드 이펙터 또는 프리 얼라이너와 같은 EFEM 모듈의 웨이퍼 핸들링에서 높은 정밀도를 제공합니다. 극도의 정확성이 있어야만 웨이퍼가웨이퍼를 정확하게 배치하고 안정적으로 운반할 수 있습니다.각 개별 공정 단계로 공급할 수 있기 때문입니다.
발루프의 센서와 시스템은 기계에 쉽게 통합할 수 있도록 소형 디자인으로 제공됩니다. 특히 까다로운 조건의 경우, 발루프의 기술을 고객의 요구 사항에 맞게고객의 요구 사항에 맞게.
비접촉식 측정 원리는 마모를 방지하여 전체 공정에서 클린룸 등급을 보장합니다. 웨이퍼 취급에 대한 신뢰할 수 있는 모니터링으로 공정을 보호하세요.
웨이퍼 처리:
화학적 환경에서 안정적으로 작동
발루프는 반도체 생산의 특수한 요건을 충족시키기 위해 습식 화학 공정을 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 에칭, 웨이퍼 세척, 코팅, 리소그래피 현상 등의 공정에서 특수 PTFE 하우징을 통해 레벨을 안정적으로 제어할 수 있습니다. 엔드레스하우저의 온도 센서는 공정 온도도 정확하게 측정합니다. 접촉식 센서를 사용하면 웨이퍼 공정 중 온도를 안정적으로 모니터링할 수 있습니다.
또한 발루프 센서를 사용하면 웨이퍼 공정 중 밸브 스트로크를 제어할 수 있어 증착 시 균일하고 이상적인 레이어를 생성할 수 있습니다.
캐리어 핸들링:
접촉 없이 정밀한 위치 설정
발루프 시스템은 정밀하고 효율적인 캐리어 핸들링을 지원합니다.- 정밀하고 효율적인 캐리어 핸들링을 지원합니다. 발루프 시스템을 사용하면 캐리어를 전자동으로 이송하는 동안 AMHS의 움직임을 모니터링할 수 있습니다. 그리고 RGV를 이용한 단거리와 OHV를 이용한 장거리 모두에서 매우 안정적으로 이 작업을 수행합니다.
동시에 비접촉식 시스템은 정확한 포지셔닝을 보장합니다. 이는 곧웨이퍼를 각 공정 단계로 안전하게 공급할 수 있습니다.. 마찰과 절단은 문제가 되지 않습니다.
발루프 시스템은 또한 엔드 투 엔드 추적성을 보장합니다. 이를 통해 다음을 보장합니다.캐리어 위치가 실시간으로 문서화됩니다.실시간으로 문서화됩니다.
진공 어플리케이션:
공정 신뢰성 지원
반도체 산업에서 웨이퍼는 종종 진공 환경에서 처리되어 깨끗하고깨끗하고 오염 없는 환경을오염 없는 환경.
발루프의 센서는 진공 상태에서 직접 사용할 수 있는 뛰어난 특성과 디자인이 특징입니다. 예를 들어 진공 잠금장치에서 즉석에서 정렬하거나 웨이퍼의 존재 여부를 확인하는 데 사용할 수 있습니다. 엔드레스하우저는 고진공에 직접 설치할 수 있는 센서뿐만 아니라 밀봉 기능이 있는 스크류인 버전도 제공합니다. 공정 신뢰성을 보장하기 위해 가스 배출에 최적화된 소재를 사용합니다.고객의 요청에 따라 고객이 지정한 재료로 센서를 제조할 수도 있습니다.센서 신호는 케이블 부싱을 사용하여 전기 케이블을 통해 안전하게 라우팅됩니다.
반도체 산업을 위한 주요 제품
반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 개발된 특수 제품을 살펴보세요. 웨이퍼 매핑의 정밀성부터 ALD 밸브 모니터링을 위한 높은 견고성까지, 발루프의 제품은 기계 가용성을 높이고 제품 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다.
고객의 시스템을 최대한 활용하세요
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