반도체 산업

모바일 통신, 사물인터넷(IoT), 스마트팩토리, 그리고 스마트홈과 같이 현재 개발되어 있는 산업들은 공통적으로 디지털화 되어 있습니다. 반도체도 마찬가지입니다. 디지털화는 반도체 시장을 바르게 안내해 줍니다.

그러나 디지털로 변화하기 위해서는 동시에 그 산업에도 요구되는 사항이 있습니다. 예를 들어, 더 나은 성능의 칩을 제공해야 합니다. 칩 생산 자체는 효율적인 비용을 제어해야 하는 매우 복잡하고, 기술적으로도 극도로 까다로운 프로세스입니다.

디스플레이 산업 뿐만 아니라 태양열 및 칩 산업분야의 웨이퍼 처리에 있어 발루프는 웨이퍼 처리와 같은 클린룸 어플리케이션 또는 거친 화학환경에서도 신뢰할 수 있는 초소형 솔루션과 함께 전문적인 지원과 가이드를 제공합니다. 발루프의 포괄적이고 믿음직한 전문 기술 지식으로 개별 응용 분야별 과제를 해결할 수 있습니다.

웨이퍼 핸들링: 프로세스 단계 간에서도 높은 정밀도

엔드 이펙터 (End effector) 또는 프리 얼라이너 (Pre-aligner)와 같은 EFEM 모듈에서 발루프는 고정밀성을 제공합니다.
극도의 정확성은 웨이퍼를 정확하게 위치하며 개별 공정 단계에서 안정적으로 운반합니다.

발루프의 센서와 시스템은 콤팩트한 폼 팩터 (form factor)로 제공되며 기존 장비 통합에 대한 요구사항을 쉽게 충족합니다.
요구사항이 까다로운 내용도 발루프의 기술력으로 대응 가능합니다.

비접촉식 측정 원리는 마모를 방지하며 전체 공정에서 클린룸 등급을 유지할 수 있습니다. 발루프의 센서와 시스템은
안정적인 웨이퍼 핸들링 공정을 보장합니다.

웨이퍼 가공: 화학적 환경에서 신뢰할 수 있는 가공

반도체 생산에서 특별한 과제를 해결하기 위해, 발루프는 습식 화학의 공정을 위한 최적의 솔루션을 제안합니다. 특수 PTFE 본체를 사용하면 에칭, 웨이퍼 클린 또는 코팅, 그리고 리소그래피 현상과 같은 수준을 모니터할 수 있습니다. 발루프의 온도 센서는 공정 온도가 정확한지 아닌지를 확인 가능합니다. 왜냐하면 이 접촉 센서가 웨이퍼 가공의 온도를 안정적으로 모니터하기 때문입니다.

발루프의 센서로 밸브 스트로크를 제어할 수 있기에 균일하게 생산할 수 있으며, 침전하는 코팅에 이상적입니다.

캐리어 처리: 비접촉으로 정확한 위치 선정

발루프 시스템은 FOUP 또는 SMIF pod와 상관없이 정확하고 효율적인 캐리어 처리를 지원합니다.캐리어가 완벽하게 자동으로 전송되어질 때, 발루프 시스템은AMHS의 움직임을 모니터합니다. RGV로 단거리 또는 OHV로 장거리에도 뛰어난 신뢰성을 제공합니다.

동시에 발루프의 비접속 시스템은 정확한 위치를 제공합니다. 웨이퍼는 모든 공정 단계마다 정확하게 운반되어지며, 마모와 분열에는 아무런 문제가 되지 않습니다.

발루프 시스템은 또한 일관된 추적성을 제공합니다.또한, 이 시스템은 운반 위치가 실시간으로 문서화되도록 합니다.

진공 어플리케이션: 프로세스 보안을 지원합니다

비범한 설계 특징을 가진 발루프의 센서는 진공 상태에서도 바로 사용할 수 있습니다.예를 들어 정렬 중에 웨이퍼가 진공 잠금 장치의 중앙에 위치 여부 또는 웨이퍼의 존재를 확인해야 할 때 사용할 수 있습니다.

발루프는 씰링 기능으로 된 Thread-in 버전 뿐만 아니라 고진공에 직접 설치할 수 있는 센서도 제공합니다. 이 센서의 시그널은 케이블 피팅(fitting)을 경유하여 전자 케이블을 통해 안정적으로 방출되어집니다.

특별 사항 : 센서에 대해 탈가스 분석에 최적화된 자재를 사용하기에 공정은 안전하게 유지됩니다.요청시에 발루프는 원하는 재질의 센서를 제작해 드립니다.