半導体産業
半導体、太陽電池、ディスプレイ製造のための精度
モバイル通信 – モノのインターネット(IoT)– スマートファクトリ – スマートホーム。これらの最近の発展にはデジタル化が寄与しています。また、その心臓部として半導体があります。半導体産業は紛れもなく未来に向かっています。
デジタルの変化と同時に、それに対する要件も増大しています。そのため、例えばチップはさらに高性能になる必要があります。チップ製造においては、非常に複雑であり、技術的に極めて要求の高いプロセスがコストパフォーマンスの良い方法で行われなければなりません。
チップ産業やソーラー産業のウエハのプロセッシングならびにディスプレイ製造に関して、Balluff は専門知識により裏付けられたサポートを提供しています。ウエハハンドリングの場合と同様にクリーンルームで、あるいは、刺激性の強い化学物質を扱う環境での応用時に、信頼できる小型化されたソリューションを提供します。Balluff の幅広い専門技術のノウハウを通して、アプリケーション固有の課題も個別に解決できます。
ウエハハンドリング: 工程の間でも高い精度
エンドエフェクタやプレアライナーと同様に、EFEM モジュールでのウエハハンドリングのために、Balluff は高い精度を提供しています。それは、極めて高い精度でないと、ウエハを正確に位置決めして、各加工工程へ確実に供給することができないからです。
Balluff のセンサとシステムには小さい構造のものがあり、要求の高い機械への統合を容易に解決できます。それぞれのエンドエフェクタの外見が異なるように、特に難しい条件に対しては、Balluff の技術をお客様の要件に合わせて個別に調整することもできます。
非接触式の測定原理によって摩耗が回避されるため、プロセス全体にわたってクリーンルームの水準(クラス)が確実に維持されます。ウエハハンドリングの信頼できる監視機能を利用し、プロセスを確実に進めることができます。
ウエハプロセッシング: 化学物質を扱う環境での確実な処理
半導体製造における特別な要件を満たすために、Balluff は湿式化学のプロセスのための最適なソリューションを提供しています。エッチング時やウエハの清掃時、リソグラフィでの塗布および現像時のように、特殊な PTFE ハウジングが確実な充填レベル制御を可能にします。その際にプロセス温度も適切に維持するのが、Balluff の温度センサの役目です。これは、接触式センサにより、ウエハプロセッシング時の温度を確実に監視できるからです。
Balluff のセンサでバルブストロークもチェックできるため、沈殿物の中で均一の理想的な層を形成できます。
キャリアハンドリング: 非接触での正確な位置決め
Balluff のシステムは、キャリアが FOUP でも SMIF-Pod でも、正確で効率的なキャリアハンドリングをサポートします。Balluff のシステムを使用して、キャリアの全自動搬送時に AMHS の動きを監視することができます。また、RGV を使用した短距離搬送でも OHV を使用した長距離搬送でも、その信頼性は極めて高いものです。
同時に、この非接触式システムは正確な位置決めを行います。これにより、ウエハを各加工工程へ確実に供給することができます。また、摩耗や亀裂が問題になることはありません。
Balluff のシステムはさらに、全体的な追跡を可能にします。これらにより、キャリアの位置がリアルタイムで確実に記録されます。
真空アプリケーション: プロセス信頼性のサポートのために
Balluff のセンサは、卓越した設計上の特徴により、真空での直接の使用が可能になっています。例えば、オンザフライでのアライメント時にウエハをバキュームロック内でセンタリングする場合や、その存在をチェックする場合も、真空で使用できます。
そのため、Balluff はシーリング機能を備えたねじ込み式の仕様ならびに高真空環境で直接設置できるセンサを提供しています。その信号は、ケーブル通し穴を通る電気ケーブルによって確実に伝送されます。その際、特に優れた点として、センサにガス放出を最適化した素材を使用しているため、プロセスが変わることなく確実に進行することが挙げられます。さらに、ご要望に応じて、お客様指定の素材を使用したセンサも製造しています。
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