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中心晶片
您可以使用两个小位移光电传感器可靠地确保晶圆在飞行中的对齐。只要两个光电传感器的切换不是在同时进行中，它们的高精度信号就可以计算出相对于理想线路的偏移。此外我们的传感器技术可以使您修正晶圆，因为它可以精确的检测到晶圆的尖锐边缘。
特点
- 极为集中的LED光斑，具有出色的均匀性
- 小型的、节省空间的设计
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
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