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检查端部效应器上的晶圆是否存在
我们的除气优化的光学漫反射传感器能够绝对可靠地检查晶圆在末端效应器上是否存在，这样您就不再需要担心发生碰撞了。即使这些末端效应器非常薄，我们的漫反射传感器仍然可以完美地集成上去，因为它们的安装高度只有1.7毫米。
特点
- 极其平整，是终端效应器的完美选择
- 为净化室优化排气系统
- 简单的远程调节
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
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