与介质接触,检测加工液位
如果容器壁不允许从外部进行检测,我们的PTFE外壳的电容式传感器是该种应用的正确选择。这些传感器可以直接检测高导电性介质的水平,如加工液中的酸和碱。这意味着,例如,蚀刻或应用抗蚀剂、光刻后的显影或化学机械抛光和晶圆清洗可以按计划顺利开始。
特点
- PTFE外壳,具有很高的耐化学性
- 可用于酸、碱、超纯水和泥浆
- 用于泡沫和堆积物补偿的智能液位技术
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
如果容器壁不允许从外部进行检测,我们的PTFE外壳的电容式传感器是该种应用的正确选择。这些传感器可以直接检测高导电性介质的水平,如加工液中的酸和碱。这意味着,例如,蚀刻或应用抗蚀剂、光刻后的显影或化学机械抛光和晶圆清洗可以按计划顺利开始。