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获取每个工艺步骤的晶圆温度

在每个工艺步骤中保持晶圆温度

我们的媒介接触式温度传感器帮助您在温控的工艺流程中保持处理介质的温度,即使在液体或气体中也能做到这一点。您可以连续监测关键的流程状态,如极限温度。无论您选择如何使用它们,这些传感器都能始终为您的过程安全做出巨大贡献。

特点

  • 有螺纹,安装简单
  • 直接测量液体或气体介质中的温度
  • 紧凑型设计

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  • 半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)