产品
准确的晶圆测绘
我们操作便捷、光斑小的小位移光电传感器能为您提供出色的精度，即使监测只有几微米厚晶圆的边缘，也绝对可靠。同时，它们还能确保在任何时候都可以准确的检测到满槽、双晶圆或倾斜位置的晶圆。灵活的线缆选择和小巧的外形还带给您极大的设计自由。
特点
- 即使在狭小的空间里依然有出色的精度 - 最小的开口角度
- 可适应于各种末端效应器
- 模块化结构系统--非常适合特定的机械安装情况
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半导体行业的解决方案(紧凑、可靠、超性能、高精度)
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Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space