Vystřeďování waferů

Vyrovnávání waferu „on the fly“ můžete spolehlivě vyřešit pomocí dvou světelných závor Micromote. Jejich vysoce přesné signály umožňují vypočítat posunutí vůči ideální čáře, když obě světelné závory nesepnou současně. Díky tomu, že naše technologie Microspot dokáže přesně detekovat ostré hrany waferu, můžete ho během pohybu korigovat.

Zvláštnosti