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매체 접속하여 유동체 공정 감지
컨테이너 벽 밖에서 안을 감지를 할 수 없을 때, PTFE 하우징을 갖추고 있는 발루프의 정전 용량성 센서가 올바른 선택입니다. 산성 및 염기와 같은 전도성이 높은 매체의 레벨을 유동체 공정에서 바로 감지합니다. 이는 예를 들어 레지스트의 에칭, 또는 도포 리소그래피 이후의 현상, 또는 기계 화학적 연마 및 웨이퍼 세척 등이 계획한 대로 시작될 수 있음을 의미합니다.
주요 특성
- 높은 화학적 내성을 위한 PTFE 하우징
- 산성, 염기, 초순수 및 슬러리에 적합
- 거품 및 빌드업 보완을 위한 스마트 레벨 기술
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