제품
06.09.2019
맵핑센서 - 최소한의 공간에서도 정밀성 발휘
엔드 이펙터(End-effector)에 통합 가능, 웨이퍼 맵핑 작업에 이상적
웨이퍼 맵핑이 요구되는 작업에 발루프는 엔드 이펙터(End-effector)에 완벽하게 통합되는 높은 정밀도의 맵핑 센서를 제공합니다. 매우 얇은 엔드 이펙터용으로 특별히 설계된 맵핑 센서는 높은 균일성을 띄는 집중 광점이 특징입니다. 해당 맵핑 센서는 불과 μm두께의 웨이퍼를 고도의 정밀성으로 감지할 수 있습니다. 전체 슬롯, 이중 웨이퍼 및 잘못 배치된 상태의 웨이퍼를 언제든지 안전하게 측정할 수 있습니다.
맵핑 센서는 광전 Micromote 기술을 기반으로 초소형 광학 센서 헤드와 외부 프로세서 유닛 (앰프)을 높은 유연성의 케이블로 연결합니다. 다른 Micromote 센서와 같이 맵핑 센서는 어떠한 기계적 설치 상황에서도 정밀성을 보장합니다.
제품 특징
- 초소형 사이즈, 높은 유연성의 센서 케이블
- 다양한 기능을 탑재한 센서 해드
- BAE 증폭기로 모든 어플리케이션에 유연하게 대응 가능
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Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space