제품
웨이퍼 센터링
두개의 MicroMote 투수광 센서를 사용하면 즉각적인 웨이퍼의 정렬을 안정적으로 보장할 수 있습니다. 이 센서의 고정밀 시그널은 투수광 센서용 스위칭이 동시에 이뤄지지 않을때 이상적인 라인을 위한 오프셋 계산을 가능하게 합니다. Microspot 기술로 날카로운 웨이퍼 가장자리를 정밀하게 감지하기 때문에 웨이퍼를 바로 수정할 수 있습니다.
주요 특성
- 뛰어난 균일성을 가진 매우 집중된 LED 광점
- 최소형, 공간 절약형 폼팩터
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