Liquidi di processo a contatto fluido

Quando la parete del contenitore non consente di fare rilevamenti dall'esterno, i nostri sensori capacitivi con rivestimento in PTFE diventano la scelta più azzeccata. Essi rilevano il livello di riempimento di fluidi altamente conduttivi, come acidi e alcali, direttamente nel liquido di processo. Ciò consente di avviare, come programmato, ad esempio l'incisione o l'applicazione di una resistenza, lo sviluppo dopo la litografia o la lucidatura chimico-meccanica e la pulitura del wafer.

Caratteristiche speciali