Halvledarindustrin

Mobil kommunikation – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Bakom dessa aktuella utvecklingar står digitaliseringen. Och den centrala delen utgörs av halvledare. Halvledarindustrin blickar alltså utan tvekan framåt.

I och med den digitala utvecklingen ökar dock kraven på dem. Chip behöver till exempel hela tiden bli effektivare. Dessutom måste man välja en kostnadseffektiv, oerhört komplex och tekniskt avancerad process vid produktionen av chip.

Balluff har även gedigen kunskap inom områden som bearbetning av kiselplattor för chip- och solpanelstillverkning och tillverkning av olika typer av displayer. Med tillförlitliga miniatyriserade lösningar för tillämpning i renrum – som exempelvis vid hantering av kiselplattor eller i aggressiva kemiska miljöer. Tack vare bred och välgrundad kompetens kan vi även ta fram applikationsspecifika lösningar på begäran.

Hantering av kiselplattor: Hög precision även mellan processtegen

Vid hantering av kiselplattor i EFEM-modulen, på ändeffektorn eller förjusteraren erbjuder Balluff alltid hög precision. Det krävs enorm noggrannhet för att tillförlitligt och exakt placera kiselplattan så att den är redo för nästa bearbetningssteg.

Våra givare och system finns i kompakt utförande och är lätta att integrera i maskinen även i krävande applikationer. Vid särskilt svåra förhållanden – alla ändeffektorer är olika – kan vi även erbjuda skräddarsydda tekniska lösningar för just era behov.

De beröringsfria mätprinciperna förhindrar nötning och säkerställer på så vis renrumsklassningen genom hela processen. Säkra era processer genom tillförlitlig övervakning av kiselplattehantering.

Behandling av kiselplattor: Tillförlitlig funktion i kemiska miljöer

För att kunna tillgodose de särskilda kraven vid halvledartillverkning erbjuder Balluff optimerade lösningar för våtkemiska processer. Särskilda PTFE-höljen ger tillförlitlig nivåkontroll till exempel vid etsning, rengöring av kiselplattan eller vid lackering och litografiframställning. Att processtemperaturen är den rätta håller våra temperaturgivare koll på. Med berörande givare övervakar du tillförlitligt temperaturerna vid bearbetning av kiselplattor.

Med vår givarteknik kontrollerar du också ventilrörelsen så att alla lager blir perfekta och exakt likadana.

Hantering av bärare: Beröringsfri och exakt positionering

Balluffs system stöder exakt och effektiv hantering av bärare – oavsett om det rör sig om en FOUP eller SMIF-Pod. Med våra system övervakar ni AMHS-systemets rörelser vid helautomatisk transport av bäraren. Och detta med största tillförlitlighet, såväl på korta sträckor med RGVs som på längre sträckor med OHVs.

Samtidigt ser de beröringsfria systemen till att positioneringen blir exakt. Därmed överförs kiselplattan säkert till respektive bearbetningssteg. Friktion och separation är därmed inget problem.

Balluffs system garanterar dessutom en genomgående spårbarhet. Dessa ser till att bärarens position dokumenteras i realtid.

Användning av vakuum: Ökar processäkerheten

Balluff erbjuder givare med unika konstruktionsegenskaper som gör att de kan användas direkt i vakuum. Till exempel när en kiselplatta riktas in och centras i farten med hjälp av vakuum eller när närvaron av en kiselplatta ska kontrolleras.

Hos oss hittar du både givare i skruvutförande med tätningsfunktion och givare som kan installeras direkt i högvakuum. Signalöverföringen sker säkert med elledningar som dras via kabelgenomföringar. Extra intressant: Eftersom vi använder avgasningsoptimerade material till våra givare är er process fortfarande säker. På begäran kan vi dessutom tillverka givarna i de material ni själva föredrar.