Félvezetőipar

Mobil kommunikáció – Internet of Things (a dolgok internetje) – Smart Factory (okos gyár) – Smart Home (okos otthon). Ezek mögött a fejlesztések mögött ott áll a digitalizálás. És ennek középpontjában a félvezetők. A félvezetőipar kétség kívül a jövőbe mutat.

A digitális átalakulással egyúttal megnőnek a vele szemben támasztott igények is. Például a chipek egyre nagyobb teljesítményűek. A chipek gyártása során egy nagyon összetett, technológiailag különösen igényes folyamatot kell megoldani, és mindezt költséghatékonyan.

A Balluff kompetens támogatást nyújt a chip- és szoláripar lapkáihoz, valamint a kijelzőgyártáshoz. Megbízható miniatürizált megoldásokkal tiszta teres alkalmazásoknál, például lapkakezelés során vagy agresszív kémiai környezetekben. Az átfogó és megalapozott technológia szaktudásunk révén képesek vagyunk egyedileg megoldani az Ön alkalmazásspecifikus feladatait is.

Lapkakezelés: Kiváló precizitás a folyamatlépések között is

Az EFEM modulon belüli, például az endeffektoron vagy a Pre-Aligneren történő lapkakezeléshez a Balluff kiváló precizitást nyújt. A lapkák nagyon pontos elhelyezése és a megmunkálási lépésekhez történő megbízható hozzávezetése csak rendkívüli pontossággal érhető el.

Érzékelőink és rendszereink kis méretűek, hogy egyszerűen megoldható legyen velük a gépbe történő igényes integrálás. A különösen bonyolult feltételekhez – hiszen minden endeffektor másként néz ki – a technológiánkat az Ön egyedi igényeihez tudjuk igazítani.

Az érintés nélküli mérési elvekkel elkerülhető a ledörzsölődés, ezáltal a teljes technológiai folyamat során biztosítható a tisztatér-besorolás. Használja ki a lapkakezelés megbízható felügyeletét, és biztosítsa a folyamatot.

Lapkafeldolgozás: Megbízható működés kémiai környezetben is

A félvezetőgyártás különleges követelményeinek teljesítésére a Balluff optimális megoldásokat nyújt a nedves kémiai folyamatokhoz. A speciális PTFE-házak lehetővé teszik a töltési szint megbízható ellenőrzését – legyen szó akár a lapkák maratásáról, tisztításáról vagy a festésről és előhívásról a litográfia során. A hőmérséklet-érzékelők gondoskodnak arról, hogy a technológiai folyamat hőmérséklete megfelelő legyen. Az érintkező érzékelőkkel megbízhatóan felügyelheti a hőmérsékleteket a lapkafeldolgozás során.

Érzékelőinkkel ellenőrizheti a szeleplöketet is úgy, hogy a ráolvasztás során homogén és ideális rétegek jöjjenek létre.

Hordozó-kezelés: Pontos pozicionálás érintés nélkül

A Balluff rendszerek támogatják a precíz és hatékony hordozó-kezelést – legyen szó akár FOUP vagy SMIF-Pod Carrierről. Rendszereinkkel a hordozó teljesen automatikus szállítása során felügyelheti az AMHS mozgásait. Mindezt rendkívül megbízhatóan, akár rövid szakaszokon az RGV-kkel, akár hosszú szakaszokon az OHV-kkel.

Az érintés nélküli rendszerek ezzel egyidejűleg gondoskodnak a pontos pozicionálásról. A lapkák biztonságosan beadagolhatók minden megmunkálási lépéshez. Így a súrlódás és a lehasadás nem jelent problémát.

Ezen túlmenően a Balluff rendszerek folyamatos nyomon követhetőséget biztosítanak. Ezek garantálják, hogy a hordozó-pozíciója valós időben dokumentálható legyen.

Vákuumos alkalmazás: A folyamatbiztonság támogatására

A Balluff érzékelők a rendkívüli szerkezeti jellemzőik révén lehetővé teszik a közvetlenül a vákuumban történő alkalmazást. Ha például a lapka központozása az „on the fly” beállítás során a vákuumzsilipben történik, vagy, ha ellenőrizni kell a lapka jelenlétét.

A Balluff becsavarozható, tömítésfunkcióval rendelkező változatokat, valamint közvetlenül a magas vákuumban telepíthető érzékelőket nyújt. Ezek jeleit az elektromos vezetékek biztonságosan kivezetik a kábelátvezetőkön keresztül. Különösen érdekes: Mivel az érzékelőkhöz gáztalanításra optimalizált anyagokat használunk, a technológiai folyamat biztosított. Ezen kívül kérésre az érzékelőket az Ön által megadott anyagból is el tudjuk készíteni.