Produkter
- Enastående sensorer och nätverksteknik för förpacknings-, livsmedels-, dryckes-, läkemedels- och kosmetikaindustrin
- Metallbearbetning
- Stål- och metallindustrin
- Drivteknik
- Automation inom halvledarindustrin
- Mobila arbetsmaskiner
- Fordonsindustri och -leverantörer
- Vätsketeknik
- Plastindustri
- Energiåtervinning
- Automatisering av intralogistik: förbättra effektivitet och genomströmning
- Biovetenskap
- Vitvaror
- Elektronikindustrin
- Revolution i automatiseringen av batteriproduktionen: säkerställer maximal effektivitet och kvalitet
- Däckindustri
- Trafikteknik
Automation inom halvledarindustrin
Precision för halvledar-, solcells- och displayproduktion
Mobil kommunikation, Internet of Things, Smart Factory, Smart Home - all denna utveckling drivs på av den ökande digitaliseringen. I hjärtat av all denna teknik finns halvledare, som har blivit oumbärliga inom industrin som huvudkomponent i mikrochip har blivit oumbärliga inom industrin. I takt med att digitaliseringen fortskrider ökar också kraven på halvledarna. Till exempel måste chipen bli allt mer kraftfulla. Samtidigt måste en mycket komplex och tekniskt extremt krävande process inom halvledartillverkningen bemästras ekonomiskt.
Balluff erbjuder dig kompetent stöd för bearbetning av wafers inom chip- och solcellsindustrin samt för bildskärmstillverkning.
Automationslösningar från Balluff för halvledarindustrin
Individuella och krävande krav kräver ofta skräddarsydda lösningar. Vårt produktsortiment erbjuder både standardlösningar och kundanpassade lösningar från Customer Design & Engineering (CDE).
Exceptionellt hög processnoggrannhet garanteras med våra innovativa optoelektroniska sensorer med hög precision och MicroSPOT-teknik. Givarhuvudena och den externa utvärderingsenheten kan enkelt integreras i dina maskiner.
Vissa givare har dessutom en speciell konstruktion som gör att de kan användas direkt i vakuum.
För utrymmeskrävande automationsapplikationer omfattar vår portfölj också särskilt kompakta men ändå kraftfulla sensorer.
"Halvledarindustrin är en kritisk hörnsten i dagens värld och driver innovation inom olika sektorer. Som Global Market Segment Manager är mitt mål att ständigt övervaka utvecklingen på marknaden, förstå era unika krav inom halvledartillverkning och därmed säkerställa att våra erbjudanden ger bästa möjliga resultat i alla våra användningsområden i denna bransch. Redan idag har vi kunder inom halvledartillverkningssegmentet inom olika områden som waferhantering, waferbearbetning eller carrierhantering."
(Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Semiconductors & Electronics)
Spotlight-applikationer inom halvledarindustrin
Läs mer om utvalda applikationer som ger dig en inblick i hur specifika utmaningar inom halvledarindustrin löses tillförlitligt och med precision med hjälp av Balluffs komponenter.
Ytterligare applikationsexempel som passar ditt individuella applikationsområde
Upptäck hur Balluffs lösningar på ett tillförlitligt sätt säkerställer extrem precision i varje kritiskt processteg inom halvledartillverkningen.
Hantering av wafers:
Hög precision även mellan processtegen
För waferhantering i EFEM-modulen, t.ex. på endeffektorn eller förriktaren, ger Balluff dig hög precision. Eftersom det bara är med extrem noggrannhet som wafers kankan wafers positioneras exakt och transporteras på ett tillförlitligt sättoch mata dem till varje enskilt bearbetningssteg.
Våra sensorer och system finns i små utföranden för enkel integrering i maskinen. För särskilt svåra förhållanden kan vi även skräddarsy vår teknikskräddarsydd efter dina krav.
De beröringsfria mätprinciperna undviker nötning så att renrumsklassen garanteras genom hela processen. Använd den tillförlitliga övervakningen av waferhanteringen och säkra din process.
Bearbetning av wafers:
Tillförlitlig drift i en kemisk miljö
För att uppfylla de speciella kraven inom halvledartillverkningen erbjuder Balluff optimala lösningar för processer inom våtkemi. Speciella PTFE-hus möjliggör tillförlitlig nivåkontroll - till exempel vid etsning, waferrengöring eller beläggning och framkallning vid litografi. Våra temperaturgivare säkerställer att processtemperaturen också är korrekt. Med kontaktgivarna kan du tillförlitligt övervaka temperaturerna under waferbearbetningen.
Med våra sensorer kan du också styra ventilens slaglängd under waferbearbetningen så att du kan producera homogena och idealiska lager under deponeringen.
Hantering av bärare:
Exakt positionering utan kontakt
Balluffs system stöder exakt och effektiv hantering av bärare- oavsett om bäraren är en FOUP- eller en SMIF-pod. Med våra system kan du övervaka AMHS:s rörelser under den helautomatiska transporten av lastbärarna. Och de gör detta på ett extremt tillförlitligt sätt, både på korta avstånd med RGV och på långa avstånd med OHV.
Samtidigt säkerställer de beröringsfria systemen exakt positionering. Detta innebär att dinawafers kan matas säkert till varje bearbetningssteg. Friktion och klyvning är inga problem.
Balluffs system garanterar också spårbarhet från början till slut. Dessa säkerställer attbärarens position dokumenteras i realtid.dokumenteras i realtid.
Vakuumtillämpningar:
För att stödja processens tillförlitlighet
Inom halvledarindustrin bearbetas wafers ofta i vakuummiljöer för att säkerställa en ren ochren och kontamineringsfri miljö.kontamineringsfri miljö.
Sensorer från Balluff kännetecknas av enastående egenskaper och designfunktioner som gör att de kan användas direkt i vakuum. Till exempel för snabb uppriktning i vakuumlåset eller för att kontrollera närvaron av wafers. Vi erbjuder skruvbara versioner med tätningsfunktion samt givare för installation direkt i högvakuum. Vi använder material som är optimerade för utgasning för att säkerställa processtillförlitligheten.På din begäran kan vi också tillverka sensorerna i de material som du specificerar.Sensorsignalerna leds säkert ut via elektriska kablar med hjälp av kabelgenomföringar.
Utvalda produkter för halvledarindustrin
Upptäck specialiserade produkter som har utvecklats för att uppfylla kraven inom halvledarindustrin. Oavsett om det gäller precision vid wafermappning eller särskilt hög robusthet för övervakning av ALD-ventiler - våra produkter hjälper dig att öka maskintillgängligheten och säkerställa produktkvaliteten.
Låt oss få ut det bästa av dina system
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
-
Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
-
BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
-
Micromote – high optical performance in the smallest space
