Centralização de wafers

Você pode garantir o alinhamento do wafer durante a operação de forma confiável usando dois sensores de feixe de passagem do Micromote. Seus sinais de alta precisão permitem calcular o deslocamento da linha ideal quando a comutação para ambos os sensores de feixe não é simultânea. Devido à nossa tecnologia Microspot, você pode corrigir o wafer, uma vez que detecta com precisão as bordas agudas do wafer.

As características