Mapeamento confiável de wafer
Detecte as bordas - de wafers de apenas alguns µm de espessura - com absoluta confiabilidade. O ponto de luz extremamente controlado e focalizado de nossos sensores Micromote fornece a você uma precisão excepcional. Nossos sensores Micromote também garantem que slots cheios, wafers duplos ou wafers posicionados incorretamente sejam detectados com segurança em todos os momentos. Cabos flexíveis e formatos pequenos permitem que você se beneficie de grande liberdade de design.
As características
- Excelente precisão no menor espaço - ângulo de abertura mínimo
- Pode ser adaptado a uma ampla variedade de efetores finais
- Sistema de kit modular - perfeito para situações específicas de instalação mecânica
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Industry brochure semiconductor industry
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Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space