Vycentrovanie waferov

Zrovnávanie wafera „on the fly“ je možné vyslovene spoľahlivo vyriešiť pomocou dvoch svetelných závor Micromote. Ich vysokopresné signály umožňujú vypočítať premiestnenie k ideálnej línii, keď spínanie oboch svetelných závor nie je simultánne. Vďaka našej technológii Microspot je možné wafer počas pohybu korigovať, pretože technológia presne rozpozná ostré okraje wafera.

Špeciálne vlastnosti