Procesvloeistoffen in contact met het medium detecteren

Als de tankwand geen detectie van buitenaf mogelijk maakt, zijn onze capacitieve sensoren in een PTFE-behuizing de juiste keuze. Deze detecteren het vulniveau van sterk geleidende media zoals zuren en logen direct in de procesvloeistof. Dit maakt het bijvoorbeeld mogelijk om het etsen of het aanbrengen van een resist-laag, het ontwikkelen na de lithografie of het chemisch-mechanisch polijsten en het reinigen van de wafer te beginnen zoals gepland.

De bijzonderheden