Veilige wafermapping
Absoluut betrouwbare detectie van de randen van de paar µm dikke wafers. De uiterst gecontroleerde en gefocuste lichtspot van onze Micromote-sensoren biedt u hiervoor uitstekende precisie. Tegelijkertijd zorgen onze Micromote-sensoren ervoor dat volle slots, dubbele wafers of wafers in gekantelde positie te allen tijde betrouwbaar worden gedetecteerd. Flexibele kabels en kleine bouwvormen geven u een grote ontwerpvrijheid.
De bijzonderheden
- uitstekende precisie in de kleinste ruimte - minimale openingshoek
- aanpasbaar aan uiteenlopende eindeffectoren
- modulair systeem - perfect voor specifieke mechanische inbouwsituaties
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space