Wafer centreren
De wafer kan snel op een uiterst veilige manier met twee Micromote-fotocellen worden uitgelijnd. Hun zeer nauwkeurige signalen maken het mogelijk om de offset ten opzichte van de ideale lijn te berekenen, indien de twee fotocellen niet tegelijkertijd worden geschakeld. Dankzij onze microspot-technologie kunt u de wafer tijdens de beweging corrigeren, omdat deze technologie de scherpe randen van de wafer nauwkeurig detecteert.
De bijzonderheden
- uiterst gefocuste LED-spot met uitstekende homogeniteit
- zeer kleine, ruimtebesparende bouwvormen
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry