ウエハのセンタリング
オンザフライでのウエハのアライメントは、2 つの MICROmote 光電センサで極めて確実に解決できます。その高精度信号は、2 つの光電センサの切替えが同時に行われない場合に、理想的なラインに対するオフセットを算出できるようにします。Balluff の Microspot テクノロジーにより、ウエハの鋭いエッジが正確に検知されるため、動作中にウエハを修正することができます。
特長
- 卓越した均一性で一点に集束される LED スポット
- 省スペースの非常に小さい構造
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