媒体接触による処理液の検出
容器壁の外側からの検出ができない場合は、PTFE ハウジングに入った Balluff の静電容量センサが最適です。これらは処理液の中で直接、酸液やアルカリ液などの導電性の高い媒体の充填レベルを検出します。それにより、例えばレジストのエッチングや塗布、リソグラフィ後の現像、または、ウエハの機械による化学研磨と清掃を計画通りに始めることができます。
特長
- PTFE ハウジングによる高い耐化学性
- 酸液/アルカリ液/超純水/スラリー液用
- Smart Level テクノロジーによる泡や付着物の影響の補正
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